產品特色

?  采用高級(ji)PLC模(mo)塊，工業級(ji)伺服電機；8英寸彩色觸屏控制(zhi)，人(ren)機界面(mian)；

?  不銹(xiu)鋼外(wai)殼(ke)，美(mei)觀耐(nai)腐蝕(shi)；

?  HDPE高(gao)分子(zi)內腔，耐腐蝕，易清潔(jie)，帶排廢功能；內腔壁采用凹面設計，有(you)效防濺；

?  可編程寫和(he)存儲100組程序，每(mei)組100步；

?  帶真(zhen)空度安全(quan)互鎖檢(jian)測(ce)功能；帶蓋子安全(quan)互鎖檢(jian)測(ce)功能；帶排廢(fei)接口；

?  具有(you)(you)電機進(jin)膠保護功能(neng)；管路易疏通設計；具有(you)(you)真(zhen)空不(bu)足(zu)提示(shi)及保護功能(neng)，具有(you)(you)斷電后參(can)數自動(dong)保存功能(neng)。

?  正、反轉旋涂方向(xiang)可自由(you)切(qie)換(huan)；旋涂參(can)數可設(she)置循環執行；速(su)度-時(shi)(shi)間曲線實(shi)時(shi)(shi)顯示(shi)；

?  配置四個自(zi)動(dong)點膠接(jie)口，可升級多路(lu)自(zi)動(dong)點膠系統；

?  可設置用戶密碼保護功能(neng)；配置可調基(ji)座，方便調節水(shui)平；

性能參數

?  適用(yong)晶元(yuan)尺寸范圍：?5~220mm；

?  旋涂速度：0~10000rpm；轉速分辨(bian)率：1rpm；旋涂(tu)加速(su)度：0-50000rpm/s（空載）；

?  最大(da)旋涂(tu)時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

?  內腔壁(bi)采(cai)用(yong)凹面防濺設計；

?  具備單步快速旋(xuan)涂和多(duo)步編(bian)程旋(xuan)涂，可編(bian)程100組程(cheng)序(xu)，每組程(cheng)序(xu)100步；

?  均勻(yun)性(xing)：<±3%(需去(qu)邊3mm區(qu)域(yu)測量)；

電源輸(shu)入(ru)：AC200-230V；