產品特色

?  采用(yong)高(gao)級(ji)PLC模塊(kuai)，工(gong)業級(ji)伺服電機；8英(ying)寸(cun)彩(cai)色觸(chu)屏控制，人機(ji)界面；

?  HDPE高(gao)分(fen)子內腔(qiang)，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；內腔(qiang)壁采用凹面設(she)計，有效防濺；

?  可(ke)編程寫和存儲100組程序，每組100步；

?  帶真空度(du)安全(quan)互鎖(suo)檢測功(gong)能；帶蓋子(zi)安全(quan)互鎖(suo)檢測功(gong)能；帶排廢接(jie)口；

?  具(ju)有電機(ji)進膠保護功能；管路易疏通設計；具(ju)有真空不足提示及保護功能，具(ju)有斷電后參數自動(dong)保存功能。

?  正(zheng)、反轉旋(xuan)涂方向可自由切換；旋(xuan)涂參數可設置循環執行(xing)；速度(du)-時(shi)間(jian)曲線實(shi)時(shi)顯示；

?  可設置用(yong)戶密碼保護(hu)功能；配置可調基座，方便調節水平(ping)；

 性能參(can)數

?  適用晶元尺寸(cun)范(fan)圍：?5~220mm；

?  旋(xuan)涂速(su)度：0~10000rpm；轉(zhuan)速分辨率：1rpm；旋涂加速度：0-50000rpm/s（空載）；

?  最大旋(xuan)涂時間：3000s；旋(xuan)涂時間(jian)精度：0.1s；

?  內腔壁采用凹(ao)面防濺設(she)計(ji)；

?  具備單步快速旋涂(tu)和多步編(bian)程旋涂(tu)，可(ke)編(bian)程100組程序，每(mei)組程序100步；

?  均勻性：<±3%(需(xu)去邊3mm區(qu)域測(ce)量(liang))；

?  電源輸入(ru)：AC200-230V；