當前位置:首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC160PE精密勻(yun)膠(jiao)機
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產(chan)品(pin)特色
? 設計緊湊,可放置在手(shou)套箱內;
? 4.3英(ying)寸彩色觸(chu)屏控制,人機界面;
? 一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔;內腔壁采用(yong)凹(ao)面(mian)設(she)計(ji),有效防濺;
? 高級PLC全自動程(cheng)(cheng)序控制,可編程(cheng)(cheng);
? 帶(dai)真空度安全互鎖檢(jian)測功(gong)(gong)能(neng);帶(dai)蓋子安全互鎖檢(jian)測功(gong)(gong)能(neng);
? 具(ju)有電機進膠保(bao)(bao)護(hu)功能(neng);管路易疏通設計;具(ju)有真空不足提(ti)示及保(bao)(bao)護(hu)功能(neng),具(ju)有斷(duan)電后參數自動保(bao)(bao)存功能(neng)。
? 不銹鋼外殼,美觀(guan)耐腐蝕(shi);
? 帶一路自(zi)(zi)動點膠接口,可(ke)升級自(zi)(zi)動點膠系統;
? 可設置(zhi)用戶(hu)密碼保護功能(neng);
? 配置可調(diao)基座,方便(bian)調(diao)節水平;
性能參數(shu)
? 適用晶元(yuan)尺寸范圍(wei):?5~160mm;
? 旋涂速度(du):100~12000rpm;轉速分辨率:1rpm;
? 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
? 最大旋(xuan)涂時間:3000s;旋涂時(shi)間(jian)精(jing)度:0.1s;
? 內腔直(zhi)徑220mm,內腔(qiang)壁采用凹面防濺設(she)計;
? 具備(bei)單(dan)步(bu)快速旋涂和多步(bu)編程(cheng)旋涂,可編程(cheng)100組(zu)程序,每(mei)組(zu)程序10步;
? 電源輸入(ru):AC200-230V;
產品咨詢
郵(you)箱:info@analysis-tech.com
地(di)址(zhi):北京市海淀(dian)區(qu)建材城中路3號樓(lou)程遠大廈B座606
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