當前位置:首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC150PE安賽斯勻膠機
產品分類
Product Category相關文章
Related Articles詳細介紹
產品介(jie)紹:
名 稱:安賽斯勻膠機
型 號:HC150PE
應 用:安賽斯勻膠機在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
產品(pin)概(gai)述:
安賽斯勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設計,美觀大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
安賽斯勻膠機結構(gou)緊湊、簡單易用,可編程(cheng)實現單步旋(xuan)(xuan)涂(tu)和多(duo)步編程(cheng)旋(xuan)(xuan)涂(tu),尺寸(cun)小巧,可放入(ru)手套箱內操作。HDPE高(gao)分子材(cai)料旋(xuan)(xuan)涂(tu)內腔,美(mei)觀耐腐蝕(shi),經(jing)久(jiu)耐用。
性能參數:
適(shi)用晶元尺(chi)寸范(fan)圍(wei):? 5~150mm;
旋(xuan)涂(tu)速度:100~12000rpm;
轉速分辨率:1rpm;
旋涂加(jia)速度:100-30000rpm/s;
最(zui)大旋(xuan)涂時間:3000s;
旋涂時間精度:0.1s;
內腔(qiang)直(zhi)徑212mm,內腔采(cai)用凹面防(fang)濺設計(ji);
具備單步(bu)快(kuai)速旋涂(tu)和多步(bu)編(bian)程(cheng)旋涂(tu),可編(bian)程(cheng)100組程序(xu),每組程序(xu)10步(bu);
電源輸(shu)入:AC200-230
產品特點:
設計緊湊(cou),可輕松放置在手(shou)套箱內(nei)使用;
HDPE高分子材料旋涂內腔(qiang),耐(nai)腐蝕(shi);
采用(yong)分體(ti)式結(jie)構(gou),易清潔和(he)移動(dong);
4.3英(ying)寸彩色觸屏(ping)控制,易(yi)學易(yi)用(yong);
精確設(she)置實(shi)驗參數,運(yun)行狀態實(shi)時(shi)顯示;
經(jing)CNC一(yi)體加(jia)工成型的HDPE內(nei)腔(qiang),內(nei)腔(qiang)壁采(cai)用凹面設計,有效防濺;
采(cai)用高(gao)級PLC程序控制,可編程,實現快速旋(xuan)涂和多步編程旋(xuan)涂;
具有電機進膠保(bao)護功能;管路易疏通設計;
具有真(zhen)空(kong)不足提示及保護功(gong)(gong)能(neng),具有斷電后參數自動保存功(gong)(gong)能(neng)。
可設置用戶(hu)密(mi)碼保護功能;
帶真空度安全互鎖檢測功(gong)能;
帶一(yi)路自動點(dian)(dian)膠接口(kou),可升級自動點(dian)(dian)膠系(xi)統;
HDPE高分子耐腐蝕內(nei)腔
不同尺寸(cun)的載物盤
產品(pin)外(wai)型尺寸:
310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)
產品咨詢
官方微信
公司官網