可編程精密勻膠機

型號：HC150SE

HC150SE可編程精密勻(yun)膠機，采用高級PLC 全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

特點(dian)：

l  設計(ji)緊(jin)湊，可(ke)輕松放置在手套箱內(nei)使用。

l  HDPE高分(fen)子材(cai)料(liao)旋涂內腔，耐腐(fu)蝕；采用(yong)分(fen)體式結構，易清(qing)洗(xi)和移動。

l  4.3英寸彩色(se)觸屏控(kong)制，易學易用，可精確設置實驗參數，運(yun)行狀態實時顯(xian)示；

l  經CNC一體加工(gong)成型的HDPE內腔(qiang)，內腔壁采(cai)用凹面設(she)計，有(you)效防濺(jian)；

l采(cai)用(yong)高級(ji)PLC程序控制，旋(xuan)涂速度、旋(xuan)涂時間、加(jia)速度等工藝(yi)參數(shu)可(ke)編(bian)(bian)程，實現快速旋(xuan)涂和多步編(bian)(bian)程旋(xuan)涂；

l 具有電機進膠(jiao)保(bao)護功能；管(guan)路易(yi)疏通結(jie)構設計；

l  轉速、加速度、時間(jian)、真空泵關(guan)/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上(shang)操作(zuo)。

l  可設置用(yong)戶密碼保護(hu)功能；

技術參(can)數：

l  適用晶元尺寸范圍：?10~150mm；

l  旋涂速度：100~12000rpm；

l  轉速分辨率：1rpm；

l  旋涂加速度：100-30000rpm/s；

l  最大旋涂時間：3000s；

l  旋涂時間精度：0.1s；

l  內腔直徑212mm，內腔采用*的凹面防濺設計；

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程10組程序，每組程序10步；

l  電源輸入：AC200-230V

可編程精(jing)密(mi)勻膠機(ji)設(she)備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm