產(chan)品介紹:
名稱:德國超聲波掃描顯微鏡
型號:V-700E
產地:德國(guo)
應用:晶(jing)圓(yuan)(yuan)面(mian)處分層缺陷;錫球(qiu)、晶(jing)圓(yuan)(yuan)、或填(tian)膠(jiao)中的開裂;晶(jing)圓(yuan)(yuan)的傾斜(xie);各種可(ke)能之孔洞(晶(jing)圓(yuan)(yuan)接合(he)面(mian)、錫球(qiu)、填(tian)膠(jiao)…等)
應 用:
超聲(sheng)波(bo)掃描顯微鏡的應用領域:
- 半導體電子行業:半導體(ti)晶圓(yuan)片(pian)、封裝器(qi)件(jian)、大功率器(qi)件(jian)IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器(qi)件、MEMS等(deng);
- 材料行(xing)業(ye):復合(he)材料(liao)、鍍(du)膜、電鍍(du)、注(zhu)塑、合(he)金、超導(dao)材料(liao)、陶瓷、金屬(shu)焊接、摩擦界面等(deng);
- 生物醫學:活體細胞(bao)動態研究(jiu)、骨骼、血管的研究(jiu)等
超聲(sheng)波掃描(miao)顯微(wei)鏡(jing)在失效(xiao)分析中的(de)應用:
- 晶圓面處分層缺陷(xian)
- 錫(xi)球、晶圓、或填膠中的開裂
- 晶圓的傾斜
- 各種(zhong)可能之(zhi)孔洞(晶圓接合面、錫(xi)球、填(tian)膠…等)
超聲波顯微鏡的在(zai)失效分析中的優勢:
- 非破壞性、無損檢測材料或IC芯(xin)片內部結構(gou)
- 可分層掃描(miao)、多(duo)層掃描(miao)
- 實(shi)施(shi)、直觀的圖像及(ji)分析(xi)
- 缺陷的測量及缺陷面積和(he)數量統(tong)計
- 可顯示材料內部的(de)三維圖像
- 對人體是沒(mei)有傷害的
- 可(ke)檢測各(ge)種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附(fu)著物、空洞、孔(kong)洞等)
主(zhu)要參數:
- - 該(gai)型號超聲波掃(sao)描顯微鏡分(fen)析(xi)系統,用(yong)于(yu)檢測(ce)大(da)件樣品
- - 大掃(sao)描速度:2000 mm/s
- - 與其它品牌(pai)相比掃描效(xiao)率高30%
- - 大掃(sao)描范圍:700mm×600mm
- - 小掃描范圍(wei):200μm×200μm
- - 帶寬(kuan):550MHz
- - 大放大倍(bei)數:625倍
- - 新型FCT換能(neng)器
名稱(cheng):德國超聲波掃描顯微鏡
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