產品介紹：

名  稱：可編程(cheng)精(jing)密勻膠機(ji)HC220PE

型  號(hao)：HC220PE

應  用：HC220可編程旋涂儀/勻膠機，采用(yong)高精度工(gong)業(ye)伺服(fu)電機，配置(zhi)(zhi)8英寸(cun)人機界面，清晰(xi)的編(bian)程程序界面設(she)置(zhi)(zhi)，易學易用(yong)。適合半(ban)導體行(xing)業(ye)及科研(yan)院所(suo)，實驗室級的研(yan)究(jiu)開發。適合8英寸(cun)及以下尺寸(cun)晶元旋(xuan)涂(tu)，是一種小型、靈活和經濟的旋(xuan)轉勻膠(jiao)設(she)備(bei)，它可以實現價值百萬(wan)美元設(she)備(bei)（track）的上才可能達到(dao)穩定性和均(jun)勻性。

產品概述(shu)：

　　HC220可編程旋涂儀/勻膠機，采用高級PLC 模(mo)塊，工(gong)業(ye)級伺服電機，全(quan)自動(dong)程(cheng)序控制，轉速(su)精度(du)高，穩(wen)定性好。可用于(yu)微電子、半導體、新能源、生物材(cai)料、納米材(cai)料等領域高精度(du)薄膜涂層的制備。
　　設備采用工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中最大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和可重復性。

性(xing)能(neng)參數：

l  旋涂程序：采用與track設備類似的程序與設計，最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒；

l  電機速度：0-10,000rpm；

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）；

l  馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm；

l  轉速調節精度<1rpm；

l  重復性< 1rpm；

l  工藝時間設定： 0-3,000 sec/step；

l  時間設置精度：0.1sec；

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）；

l  旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）；

產品特(te)點：

l  用高級PLC模塊，工業級伺服電機；

l  8英寸彩色觸屏控制，人機界面；

l HDPE高分子內腔，耐(nai)腐蝕，易清潔，帶排廢功能；

l內腔壁采用凹面設計，有效防濺；

l可編程寫和存儲100組程序，每組100步；

l帶真空度安全互鎖檢測功能；

l帶蓋子安全互鎖檢測功能；

l帶排廢接口；

l具有電機進膠保護功能；

l管路易疏通設計；

l具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能；

l正、反轉旋涂方向可自由切換；

l旋涂參數可設置循環執行；

l速度-時間曲線實時顯示；

l配置四個自動點膠接口，可升級多路自動點膠系統；

l可設置用戶密碼保護功能；

l配置可調基座，方便調節水平；

          不同(tong)尺寸的載(zai)物盤

產(chan)品外型尺(chi)寸：
       444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)