產品介紹(shao)：

名  稱：程控高精度勻膠機

型  號：SC100-SE

應  用：程控高精度勻膠機，是一種超高(gao)轉速精(jing)度(du)，并帶有真空數(shu)顯傳感器和水平數(shu)顯傳感器的高(gao)精(jing)密高(gao)檔(dang)勻膠設備(bei)。

產(chan)品概述(shu)：

　　SC100-SE程控勻膠機是一種超高轉速、高精度的旋轉勻膠設備，并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。

性能參(can)數：

l  主機機箱采用不銹鋼材料(liao)（抗化學腐蝕易清潔）

l  旋涂程序(xu)：可擴展編(bian)輯和存貯(zhu)到(dao)無(wu)限程序(xu)步驟

l  轉動速度：0-10,000rpm

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l  轉速精度達到±0.1rpm，超高轉速穩定性；

l  工藝時間設定： 0-3,000 sec/step

l  時間設置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）

l  旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

產(chan)品特點：

l  內部(bu)緊湊(cou)設計，縮(suo)小了設備(bei)的尺(chi)寸。

l  7"觸屏(ping)控制面板操作系統，更方(fang)便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

l  采用工業級別伺服(fu)電(dian)機(ji)，電(dian)機(ji)設計避免光刻膠(jiao)等污染物進(jin)入電(dian)機(ji)內部。

l  機身選用耐(nai)酸堿、耐(nai)沖擊、耐(nai)腐蝕不銹(xiu)鋼，生銹(xiu)，便于清洗。

l  透明可(ke)視，耐化學腐蝕(shi)的(de)密封蓋，可(ke)以在(zai)旋涂作業時*隔(ge)絕光刻膠的(de)溢出及有(you)效隔(ge)絕有(you)毒氣味的(de)散發。

l  數顯(xian)真空壓力(li)(li)傳(chuan)感器，真空值(zhi)數字顯(xian)示(shi)，壓力(li)(li)開關值(zhi)可設置；

l  數顯(xian)水(shui)平度(du)傳感器，實(shi)時顯(xian)示(shi)載(zai)物盤面的水(shui)平度(du)，可通過底(di)腳進行調節；

l  自(zi)帶四個自(zi)動點膠端口，更多端口控(kong)制可升級。

產品外(wai)型尺(chi)寸：
      433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biao)準設備(bei)結(jie)構

咨(zi)詢或索(suo)取(qu)詳細產(chan)品資料，請聯系ANALYSIS（安賽(sai)斯）工作(zuo)人(ren)員。

統一客服：400 8816 976