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可(ke)編程精密勻膠(jiao)機
型號:HC160PE
HC160PE程控精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
特點:
l 設計緊湊(cou),可(ke)放置在手套(tao)箱內;
l 4.3英寸(cun)彩色觸屏控(kong)制,人機界面;
l 不銹鋼(gang)外殼,美觀(guan)耐腐(fu)蝕;
l 經CNC一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;
l 內腔壁(bi)采用*的凹(ao)面設計,有效防(fang)濺;
l 高級PLC全自動程序控制,可編程;
l 帶真空度(du)安全互鎖檢測功(gong)能;
l 帶蓋子安全互鎖檢(jian)測功(gong)能;
l 帶(dai)排廢接口;
l 配置(zhi)一個自動點膠接(jie)口,可升級自動點膠系統(tong);
l 可設置(zhi)用戶密(mi)碼保護功能(neng);
l 配(pei)置(zhi)可調基(ji)座(zuo),方(fang)便調節水平(ping);
技術參數:
l 適用晶元尺寸范圍:?10~160mm;
l 旋涂速度:100~12000rpm;
l 轉速分辨率:1rpm;
l 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
l 旋涂時間:3000s;
l 旋涂時間精度:0.1s;
l 內腔直徑220mm,內腔壁采用*的凹面防濺設計;
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
l 電源輸入:AC200-230V;
設(she)備外形(xing)尺寸:長X寬X高:310X254X250mm
HC160PE程控精密勻膠機
HC160PE程控精密勻膠機
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