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程控精密勻膠機

簡(jian)要描述:HC160PE 程控(kong)精密勻(yun)膠機是(shi)一(yi)種既可(ke)(ke)(ke)用于精密勻(yun)膠操作,又可(ke)(ke)(ke)用于半導體顯影和清洗的(de)臺面式設備,它(ta)可(ke)(ke)(ke)以(yi)實現價值(zhi)百(bai)萬美元設備(track)的(de)上才(cai)可(ke)(ke)(ke)能達到穩定(ding)性(xing)和均勻(yun)性(xing)

  • 產品型號(hao):HC160PE
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-01-04
  • 訪(fang)  問  量:1897

詳細介紹

可(ke)編程精密勻膠(jiao)機

型號:HC160PE

   

    HC160PE程控精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

特點:

l  設計緊湊(cou),可(ke)放置在手套(tao)箱內;

l  4.3英寸(cun)彩色觸屏控(kong)制,人機界面;

l  不銹鋼(gang)外殼,美觀(guan)耐腐(fu)蝕;

l  CNC一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;

l  內腔壁(bi)采用*的凹(ao)面設計,有效防(fang)濺;

l  高級PLC全自動程序控制,可編程;

l  帶真空度(du)安全互鎖檢測功(gong)能;

l  帶蓋子安全互鎖檢(jian)測功(gong)能;

l  帶(dai)排廢接口;

l  配置(zhi)一個自動點膠接(jie)口,可升級自動點膠系統(tong);

l  可設置(zhi)用戶密(mi)碼保護功能(neng);

l  配(pei)置(zhi)可調基(ji)座(zuo),方(fang)便調節水平(ping);

技術參數:

l  適用晶元尺寸范圍:?10~160mm

l  旋涂速度:100~12000rpm

l  轉速分辨率:1rpm

l  旋涂加速度:100-30000rpm/s

l  旋涂時間:3000s

l  旋涂時間精度:0.1s

l  內腔直徑220mm,內腔壁采用*的凹面防濺設計;

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

l  電源輸入:AC200-230V

設(she)備外形(xing)尺寸:XX高:310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機

HC160PE程控精密勻膠機



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