名稱：德國超聲波掃描顯微鏡

產品介紹：

名稱：德國超聲波掃描顯微鏡

型號：V-400E

產地：德國

應用(yong)：晶圓(yuan)面(mian)處分層缺陷；錫球(qiu)、晶圓(yuan)、或填(tian)膠中的(de)開裂；晶圓(yuan)的(de)傾斜(xie)；各種可能之(zhi)孔洞（晶圓(yuan)接(jie)合(he)面(mian)、錫球(qiu)、填(tian)膠…等(deng)）

產品應用：

聲掃顯微鏡應用領域(yu)：

• 半導體電(dian)子行業：半導體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
• 材(cai)料行業：復合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等；
• 生(sheng)物(wu)醫學：活體細胞動態研究、骨骼、血管的研究等

在失效分析中的(de)應(ying)用：

• 晶圓面處分層缺(que)陷(xian)
• 錫球、晶圓、或(huo)填(tian)膠中的開裂
• 晶圓的傾斜
• 各種可能之孔洞（晶(jing)圓接(jie)合面、錫球、填膠(jiao)…等）

聲掃顯微鏡的在失(shi)效分析中的優勢：

• 非破壞性、無(wu)損檢(jian)測材料(liao)或IC芯片內(nei)部結構(gou)
• 可(ke)分(fen)層(ceng)掃描(miao)(miao)、多層(ceng)掃描(miao)(miao)
• 實施、直觀(guan)的圖像(xiang)及分析
• 缺陷的測(ce)量及缺陷面積和(he)數量統計(ji)
• 可顯(xian)示材料內部的(de)三維圖(tu)像
• 對人(ren)體是(shi)沒有(you)傷(shang)害的
• 可檢測(ce)各種缺陷（裂(lie)紋、分層、夾雜物、附(fu)著物、空洞(dong)、孔洞(dong)等(deng)）

主要參數(shu)：

• -該(gai)型(xing)號顯(xian)微鏡系統是實驗室(shi)、研發和工業生產線(xian)主流機(ji)型(xing)。
• - 掃描速度可達：2000mm/s
• - 與其它品牌(pai)機型相比掃描(miao)效率(lv)高30%
• - 大(da)掃描范圍：400mm×400mm
• - 小(xiao)掃描(miao)范圍(wei)：200μm×200μm
• - 射(she)頻大帶寬：500MHz
• - 新型FCT防(fang)誤(wu)判探頭

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