勻膠機/旋涂儀有很多種稱謂,英文叫(jiao)Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠(jiao)機(ji)(ji)(ji)、勻(yun)膠(jiao)臺(tai)、旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)涂(tu)(tu)膠(jiao)機(ji)(ji)(ji)、旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)涂(tu)(tu)膜(mo)機(ji)(ji)(ji)、旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)涂(tu)(tu)層機(ji)(ji)(ji)、旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)涂(tu)(tu)布機(ji)(ji)(ji)、旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)薄膜(mo)機(ji)(ji)(ji)、旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)涂(tu)(tu)覆儀(yi)、旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)涂(tu)(tu)膜(mo)儀(yi)、勻(yun)膜(mo)機(ji)(ji)(ji),總(zong)的(de)來說,他們原理都是一樣的(de),既(ji)在(zai)高速(su)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)基(ji)片上,滴注各類膠(jiao)液(ye),利用離心力使滴在(zai)基(ji)片上的(de)膠(jiao)液(ye)均勻(yun)地涂(tu)(tu)覆在(zai)基(ji)片上,厚度(du)視(shi)不同(tong)膠(jiao)液(ye)和(he)基(ji)片間的(de)粘滯系數而不同(tong),也和(he)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速(su)度(du)及(ji)時間有關。 勻(yun)膠(jiao)機(ji)盡管是一(yi)款(kuan)原理比較簡(jian)單的(de)(de)實(shi)驗室小型(xing)儀器,但影(ying)響勻(yun)膠(jiao)效(xiao)果的(de)(de)卻有(you)勻(yun)膠(jiao)速(su)度(speed)、勻(yun)膠時間(time)、勻膠加(jia)速度(acceleration)、控制(zhi)精度(accuracy)等因素。其中最重要的就是(shi)控制精(jing)度(du)(accuracy),沒有控(kong)制(zhi)精(jing)度(du),其他的設(she)置都(dou)是(shi)(shi)虛無(wu)。這也(ye)是(shi)(shi)某(mou)些品(pin)牌勻膠機最致命的問題所在。
安賽斯(中國(guo))有限公司(si)提(ti)供的HC系(xi)列勻膠機,采用進口(kou)電機及(ji)觸屏控制系(xi)統,實(shi)現對轉速、時間和加速度(du)的精(jing)確控制,轉速調(diao)節精(jing)度(du)<1rpm,重(zhong)復性< 1rpm,實現勻(yun)膠過程的高精度和高重復性(xing)。
最新升級的HC系列(lie)勻膠機有HC150PE,HC160PE,HC220PE等多(duo)個(ge)型號,滿足不同尺寸晶元的勻(yun)膠(jiao)需求。 |