超聲波掃(sao)描顯微鏡對(dui)被測器件是有一定(ding)限(xian)制的，因(yin)為它(ta)的工作(zuo)頻率一般在(zai)5MHz~400MHz之(zhi)間(jian)，安(an)賽斯（中國）有(you)限公(gong)司(si)引(yin)進德(de)國的超聲波掃描顯微鏡，其工作頻率可達550M。所以它在不同材料中，穿透深度是不同。一般有這樣的規律：頻率越高的超聲波，穿透性越差，但是分辨率高；頻率低的超聲波，穿透性好，但是分辨率有限！

穿透深度(du)（與(yu)材料本身有關*）: 穿透深(shen)度取決(jue)于被測(ce)物的彈性參數、信噪(zao)比及超聲掃(sao)描顯微鏡系統的工作頻率(lv)。被測(ce)物與耦(ou)合介質(zhi)之間較(jiao)大的聲失配會(hui)降(jiang)低穿透深(shen)度，但另一方面，高信噪(zao)比可以提 高穿(chuan)(chuan)透(tou)深(shen)度。在高聲阻抗(kang)的固(gu)體(ti)中超聲波的穿(chuan)(chuan)透(tou)深(shen)度與超聲波的頻率成反比。對(dui)于低聲阻抗(kang)的固(gu)體(ti)，橫(heng)波和縱波均可以(yi)用于內部成像，因此在這種情(qing)況下穿(chuan)(chuan)透(tou)深(shen)度不(bu) 受頻(pin)率的限制。
分辨率(lv)：取(qu)決于樣(yang)品(pin)和換(huan)能器的(de)狀況(kuang)，一(yi)般情況(kuang)下可(ke)達(da)到半波長(chang)（λ/2）。